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日本西格玛光机XY轴TSD不锈钢直动平台TSDS-602S
特征：
· 其基本特性，如高刚性，高承载能力，优异的直线性和精密定位性能等，和TSD直动平台一样。
· 和一般钢质或铝质平台相比，不锈钢平台有很多优点。它强度非常好，经久耐用，抗冲击，耐磨损，适用于超净工作区和真空环境。它们没作表面处理，其不锈钢测微头和导轨部采用了硅基真空润滑脂。适用于空间窄，密封性高的场合。
规格：
|
型号 |
台面尺寸（mm） |
行程
[mm] |
螺距
[mm/rotation] |
度;直线度
[mm] |
移动精度;俯仰
[arcsec] |
移动精度;左右摆动
[arcsec] |
平行度
[mm] |
移动平行度
[mm] |
最小读数
[mm |
最小分辨率
[mm] |
承载能力Fz'
[N] |
最大承载力矩Fx'
[N・m] |
最大承载力矩Fy'
[N・m] |
最大承载力矩Fθ'
[N・m] |
刚性
Fx'
[秒/N・m] |
刚性
Fy'
[秒/N・m] |
自重
[Kg] |
|
TSDS-252C |
25x25 |
±
3 |
0.5 |
0.002 |
30 |
25 |
0.05 |
0.02 |
0.01 |
0.003 |
39.2(4.0gf) |
2 |
2 |
1 |
3.4 |
3.4 |
0.1 |
|
TSDS-252S |
±
3 |
0.5 |
0.002 |
35 |
35 |
0.05 |
0.02 |
0.01 |
0.003 |
39.2(4.0kgf) |
2 |
2 |
1 |
3.4 |
3.4 |
0.1 |
|
TSDS-402C |
40x40 |
±
6.5 |
0.5 |
0.002 |
30 |
25 |
0.05 |
0.02 |
0.01 |
0.003 |
147(15.0kgf) |
3.9 |
3.9 |
2.5 |
0.66 |
0.66 |
0.3 |
|
TSDS-402S |
±
6.5 |
0.5 |
0.002 |
30 |
25 |
0.05 |
0.02 |
0.01 |
0.003 |
147(15.0kgf) |
3.9 |
3.9 |
2.5 |
0.66 |
0.66 |
0.3 |
|
TSDS-602C |
60x60 |
±
6.5 |
0.5 |
0.002 |
25 |
15 |
0.05 |
0.02 |
0.01 |
0.003 |
294(30.0kgf) |
8.8 |
8.8 |
4.9 |
0.41 |
0.41 |
0.9 |
|
TSDS-602S |
±
6.5 |
0.5 |
0.002 |
25 |
15 |
0.05 |
0.02 |
0.01 |
0.003 |
294(30.0kgf) |
8.8 |
8.8 |
4.9 |
0.41 |
0.41 |
0.9 | |
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